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반도체 패키징용 Gold Bonding Wire의 변형특성 및 해석
Deformation Properties of Gold Bonding Wire for VLSI Packaging Applications 원문보기

한국소성가공학회 2001년도 춘계학술대회 논문집, 2001 May 01, 2001년, pp.250 - 253  

김경섭 (한국과학기술원 재료공학과) ,  홍순형 (한국과학기술원 재료공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Mechanical properties of gold bonding wire for VLSI packaging have been studied. The diameters of gold wires are about 20-30 micrometer and fracture loads are 8-20 gram force. The elastic modulus, yield strength, fracture strength and elongation properties have been evaluated by micro-tensile test m...

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제안 방법

  • Gold bonding wire의 탄성계수를 측정하기 위하여 인장시험 장비로 Instron 8848 micro-force testing machine을 선택하였고, 그립으로는 Instron 5N 공압 그립을 선택하였다. 그립과 wim가 닿는 마찰면에는 평탄 화 처리를 하여 미세한 굵기의 선이 마찰면의 평탄하지 않은 면을 따라서 미끄러져 빠져나가지 않도록 하였다.
  • Gold bonding wire의 탄성계수를 측정하기 위하여 인장시험 장비로 Instron 8848 micro-force testing machine을 선택하였고, 그립으로는 Instron 5N 공압 그립을 선택하였다. 그립과 wim가 닿는 마찰면에는 평탄 화 처리를 하여 미세한 굵기의 선이 마찰면의 평탄하지 않은 면을 따라서 미끄러져 빠져나가지 않도록 하였다. 탄성계수의 측정에서 가장 중요한 것은 wire의 접촉면을 고려하여 gage length를 계산하는 것이다.
  • 탄성계수의 측정은 인장 시험에서 항복강도 이전에 상승곡선에서 1회 측정을 하는 방법과 항복강도 이후에 피로시험과 비슷한 방식으로 하중을 풀었다가 다시 주는 방식으로 실시하는 것 2가지 방식이 사용되었다. 미세선의 탄성계수 측정 시험에서는 항복점 이후 0.5 % strain 상승시마다 하중을 풀어서 0.15 % strain을 줄였다가 다시 하중을 주는 방식을 사용하였다. 응력곡선은 Fig.
  • 미세한 굵기의 gold bonding wire를 미소 인장시험장 비를 통하여 인장시험을 하고 이 결과 탄성계수 및 항복 강도, 인장강도, 연신율을 측정할 수 있었다' 탄성계수 를 측정하기 위하여 gage length 계산 방법을 개발하여 사용하였으며 본 실험에서 유효성을 검증하였다.
  • 이 실험을 통해서 계산된 gage length를 통하여 탄성 계수 측정 실험을 실시하였다. 탄성계수의 측정은 인장 시험에서 항복강도 이전에 상승곡선에서 1회 측정을 하는 방법과 항복강도 이후에 피로시험과 비슷한 방식으로 하중을 풀었다가 다시 주는 방식으로 실시하는 것 2가지 방식이 사용되었다.
  • 만 약 정확한 접촉지점을 알 수 있다면 gage length를 이 접촉지점으로부터 환산할 수 있을 것이다. 이 접촉지점 을 계산하기 위해서 자를 이용해서 측정한 겉보기 접촉 지점 사이의 거리를 35, 45, 55, 75, 105mm 로 하여서 각각의 gage length에서 탄성계수 측정시험을 행하였다. 만약 겉보기 gage length가 실제 gage length와 같다면 탄성계수는 일정하게 나올 것이다.
  • 2g 이하로 매우 작다. 이 차이를 측정하기 위해서 장 비에서 Fig. 3과 같이 strain을 바꾸면서 실험을 하는 방법을 사용하였고 이 측정결과를 통해서 각 strain마다 항복강도의 차이를 정확하게 구해낼 수 있다.
  • 항복강도 및 인장강도 측정 시험에서 탄성계수의 측정 에서 사용된 것과 같은 gage length 측정법을 통하여 gage length를 결정하였다. 항복강도와 인장강도의 측 정은 탄성계수의 측정법에 비하여 간단한 편에 속하는 것으로 이 시험법에서 가장 문제가 되는 것은 load ceU 의 영점 조정과 노이즈 문제이다.

대상 데이터

  • 미세선을 인장시험하기 위해서는 특별한 모양의 그립 이 필요하다. 본 실험에서는 INSTRON 사에서 상용으로 판매하는 5N pneumatic grip을 개조하여 사용하였다.
  • 마찰력은 닿는 면적에는 관계하지 않고, 압력에만 의존하는 힘이므로 미세선에 경우는 그립에 닿기만 하면 인장강도를 넘어서는 마찰력 을 얻을 수 있다. 시험에 사용한 INSTRON 사의 상용 공압 그립은 25mm의 내경을 가진 것으로 그립의 접촉 면에 인가되는 하중은 50N 정도이다. 금속과 금속의 마 찰계수는 0.
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