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NTIS 바로가기대한기계학회 2003년도 춘계학술대회, 2003 Apr. 23, 2003년, pp.1048 - 1051
윤완수 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) , 석성대 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) , 박형주 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) , 하동한 (한국표준과학연구원 적자소자그룹) , 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) , 신보성 (한국기계연구원 나노공정그룹)
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