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NTIS 바로가기대한기계학회 2003년도 추계학술대회, 2003 Nov. 05, 2003년, pp.1787 - 1792
허남환 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 이석우 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 최헌종 (한국생산기술연구원 나노가공팀)
Recently with the development of semiconductor technology, the miniaturization of parts and products as well as their high precision is required. In addition, as the national competitiveness is increasingly affected by the development of the micro parts through micro machining technology, the study ...
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