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마이크로 펌프, 밸브가 집적된 폴리머 기반의 미세 유체제어 시스템의 기계적 특성 강화
Integrated microfluidic device with polymer-based micropump and microvalve for $\\mu$-TAS devices 원문보기

대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회, 2008 July 16, 2008년, pp.1458 - 1459  

라규식 (명지대학교 나노공학과) ,  윤태식 (명지대학교 나노공학과) ,  이현호 (명지대학교 화학공학과) ,  김용상 (명지대학교 전기공학과)

초록
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미세 유체 제어 시스템 (마이크로 펌프, 마이크로 밸브, 마이크로 채널, 마이크로 믹서 등)의 집적은 화학 및 바이오 유체를 제어하는 Lab-on-a-chip 의 일부분으로서 사용되며 이러한 시스템의 집적은 Lab-on-a-chip 개발을 위해 필수적으로 요구된다. 본 논문에서는 이러한 microchip을 구현하기 위해서 초미세 유체 제어 소자인 마이크로 펌프와 마이크로 밸브를 같은 기판 위에 Polydimethylsiloxane (PDMS)와 indium tin oxade (ITO)를 사용하여 집적하였다. 그리고 밸브의 반복 작동 시 계속적인 유량의 감소를 줄이기 위해 PDMS 의 혼합비를 달리하여 PDMS membrane 의 기계적 특성을 강화시켰다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 또한 일반적으로 사용되는 Au 에 비해 가격이 매우 저렴하게 제작되고 투명한 장점을 지닌 indium tin oxide (ITO) 를 사용하여 히터를 제작하였다. 논문에서는 밸브의 반복 작동 시 계속적인 유량의 감소를 줄이기 위해 PDMS 혼합비를 달리하여 PDMS membrane 의 기계적 특성을 비교, 분석하였고 디바이스 특성을 강화시켰다.
  • 밸브의 연속적인 작동 시 membrane 의 복원력이 중요한데 membrane의 유연성은 복원력에 큰 영향을 미친다. 본 논문에서는 이러한 사실을 확인하기 위하여 인장강도측정 시와 동일한 membrane을 제작하여 디바이스를 제작한 후 밸브의 연속적인 작동 시 유량의 변화를 관찰 하였다. 그림 4는 이러한 실험의 결과를 보여준다.
  • 이러한 시스템은 제작공정이 매우 간단하였으며 일회용 lab-on-a-chip 에 응용하기에 좋은 특성을 보였다. 본 논문에서는 특히 밸브의 연속적인 작동 시 계속적인 유량의 감소를 개선시키기 위하여 PDMS crosslinker 의 비율을 달리하여 PDMS 특성을 분석하였고 이를 디바이스로 제작하여 밸브의 다이나믹특성을 강화시켰다. PDMS membrane 의 비율이 100:15 인 membrane 이 가장 나은 유연성을 보였으며 디바이스 제작 시에도 유량의 재현성이 가장 나은 특성을 보였다.
  • 본 연구에서는 PDMS 로 제작된 열공압 방식의 마이크로 펌프와 파라핀으로 작동하는 마이크로 밸브가 집적된 in-channel 구조의 미세 유체 제어 시스템을 제작하고 특성을 분석하였다. PDMS 와 ITO 를 사용하여 제작된 시스템은 몰딩 대량 생산이 가능하고 물질 및 공정비용 모두가 저렴하며 투명하다는 장점을 갖는다.
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