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NTIS 바로가기한국공작기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집, 2005 May 01, 2005년, pp.15 - 18
오현주 (서울산업대학교 나노생산기술연구소) , 장동영 (서울산업대학교 산업정보시스템공학과) , 양희남 (서울산업대학교 산업정보시스템공학과) , 김동환 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) , 박만진 (서울대학교 기계항공공학부) , 심치형 (서울대학교 기계항공공학부) , 김충수 (서울대학교 기계항공공학부)
We have designed and fabricated a thermal scanning electron microscopy. It includes an electron source, two condenser lenses, one objective lens, a scanning coil and a stigmator coil for focusing in column and also have a secondary electron detector for constructing the image in chamber with a high ...
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