[논문]전처리에 따른 <tex> $HfO_2$</tex> MOS-Cap의 전기적 특성 평가

양대준; 김주연; 손영준; 김현철; 김영배; 최덕균

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[국내논문] 전처리에 따른 $HfO_2$ MOS-Cap의 전기적 특성 평가 원문보기

한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집, 2006 May 19, 2006년, pp.18.2 - 18.2

양대준 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) , 김주연 (한양대학교 정보디스플레이공학과 박막전자재료연구실) , 손영준 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) , 김현철 (한양대학교 세라믹공학과 박막전자재료연구실) , 김영배 (한양대학교 신소재공학부 세라믹공학과) , 최덕균

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