[논문]연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가

차남구; 강영재; 김인권; 김규채; 박진구

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[국내논문] 연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가 원문보기

한국재료학회 2006년도 추계학술발표대회 및 제11회 신소재 심포지엄, 2006 Nov. 03, 2006년, pp.20.1 - 20.1

차남구 (한양대학교 재료화학공학부) , 강영재 (한양대학교 재료화학공학부) , 김인권 (한양대학교 재료화학공학부) , 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) , 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)

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