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제안 방법
- 다음으로 Fig. 2와 같이 레이저를 핀홀에 집광 시켜 점광원을 만들고 이를 이용해 렌즈의 수차를 측정하는 시스템을 제작하였다. 핀홀에서 회절되어 나오는 구면파는 측정렌즈를 통해 평행하게 되고 그 빛을 SH 파면분석기를 통해 분석하여 측정 렌즈의 수차를 알 수 있다.
- 시스템의 오차가 보정된 후에 Fig. 2의 시스템을 이용하여 NA 0.65 인 현미경 대물렌즈와 NA 0.25 인 비구면 렌즈의 수차를 측정하였다. 이 결과를 Zygo 간섭계로 측정한 결과와 비교해 보았 을 때 (Table 1), rms 파면 수차는 약 1/500X 이내, p-v 파면 수차는 약 1/50X 이내의 측정값의 차이를 보였다.
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