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문제 정의
- 본 연구는 기판의 구성원자가 초전도층으로 확산 침투하는 것을 방지하며 기판의 결정정렬도를윗층까지 전달하는 역할을 하는 YSZ층의 증착 방법 및 최적조건 등을 중심으로 소개하고자 한다.
- 초전도 테이프의 구성요소 중 완충층에 대하여 연구하였다. Ni 기판상에 CeO2 증착시 상당히 넓은 온도와 수증기 분압에서 원하는 결정방향으로 성장한 박막을 얻을 수 있었다.
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