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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6, 2005 July 07, 2005년, pp.62 - 63
유경호 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) , 고현필 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) , 강종윤 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) , 김현재 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) , 고태국 (연세대학교 전기전자공학과) , 윤석진 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
Recently, a tiny piezoelectric linear motor using a vibration made of the transducer has been invented. The motor consists of a shaft, mobile element, and piezoelectric transducer using a piezoelectric radial mode bimorph disk. The fringe of the bimorph disk is fixed firmly which means this area has...
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