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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6, 2005 July 07, 2005년, pp.141 - 142
소순진 ((주) 나리지*온) , 임근영 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) , 유인성 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) , 박춘배 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부)
To investigate the ZnO thin films which is interested in the next generation of short wavelength LEDs and Lasers, our ZnO thin films were deposited by RF sputtering system. At sputtering process of ZnO thin films, substrate temperature, work pressure respectively is
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