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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집, 2005 Oct. 01, 2005년, pp.326 - 329
노동선 (연세대학교 대학원 기계 공학과) , 김대은 (연세대학교 대학원 기계 공학과)
As a flexible method to fabricate sub-micrometer patterns, Focused Ion Beam (FIB) instrument and Self-Assembled Monolayer (SAM) resist are introduced in this work. FIB instrument is known to be a very precise processing machine that is able to fabricate micro-scale structures or patterns, and SAM is...
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