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[국내논문] 비점수차법을 이용한 변위센서 개발
Micro Displacement Sensor Using an Astigmatic Method 원문보기

한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, 2006 May 01, 2006년, pp.257 - 258  

이창우 (한국기계연구원) ,  송준엽 (한국기계연구원) ,  하태호 (한국기계연구원) ,  김준현 (한국기계연구원)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents the displacement sensor based on astigmatic method that has a small measurement range. The sensor has the characteristic that the measuring range is changed easily by exchanging a objective lens or distance between a objective lens and a collimator lens. The measuring range and r...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 현재 DVD와 CD Pick-up에서 초점을 맞추기 위해서 사용되는 비점 수차 법을 이용하여 소형의 변위센서를 제작하였고 레이저 인터페로메터를 이용하여 정밀도를 측정하였다. 수학적으로 접근하려는 시도도 있었으나 본 연구에서는 사용되는 4분할 PD가 접합되는 지점에 두께가 존재하고, 빛이 Gaussian 분포를 하고, 무엇보다 광학계의 조립오차에 의해서 정확한 수학적 해석보다는 제작된 변위센서를 마이크로 부품의 조립기 제작에 적용하기 위해서 성능평가 및 개선을 목표로 하였다.
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