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FDTD방법을 이용한 엑시머 레이저 어블레이션 해석
Analysis of Excimer laser ablation via FDTD method 원문보기

한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, 2006 May 01, 2006년, pp.163 - 164  

최경현 (제주대 기계공학과) ,  배창현 (부산대 대학원 기계공학과) ,  김동수 (한국기계연구원) ,  이석희 (부산대 기계공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, an analytical laser ablation model with Maxwell equation will be addressed by considering relationship between laser ablation and material. The Maxwell equation consists of four equations: two Gauss laws for electric and magnetic fields, Faraday's law, and Ampere's law. This analytica...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 물질과 레이저빔과의 상호작용을 위한 수치적 모델을 전개하려 한다. 유한 차분 시간 영역법(FDTD)을 이용하여 맥스웰방정식의 해를 구하려고 한다.
  • 본 연구에서는 엑시머레이저로 미소 구조물을 가공하기 전에 실제 가공을 예측할 수 있는 시뮬레이션 프로그램을 FDTD 방법을 이용하여 개발하였다. 시뮬레이션 조건을 좀 더 정확히 한다면 레이저 어블레이션을 이해하는 데 더 큰 도움이 될 것이다.

가설 설정

  • 본 연구에서는 KrF 엑시머레이저(入 =248nm)를 힛소스로 가정하여 시뮬레이션하였다. 포커싱된 레이저빔은 직경이 50㎛이고 에너지는 5J/E이다.
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