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제안 방법
- 본 연구에서는 광 집속장치 내의 기구적인 광축 오차와 입사되는 빔의 요동각을 측정하는 시스템과 측정된 오차를 실시간으로 보상하는 제어기를 설계하였다. 제어기 설계를 위하여 먼저 FSM platform의 동특성 시험을 통해 수학적 모델링을 수행하였고, 다음으로 디지털 제어기를 설계하였으며, 설계된 디지털 제어기의 성능은 모의 시험장치에서 평가하였다.
- 본 연구에서는 광 집속장치 내의 기구적인 광축 오차와 입사되는 빔의 요동각을 측정하는 시스템과 측정된 오차를 실시간으로 보상하는 제어기를 설계하였다. 제어기 설계를 위하여 먼저 FSM platform의 동특성 시험을 통해 수학적 모델링을 수행하였고, 다음으로 디지털 제어기를 설계하였으며, 설계된 디지털 제어기의 성능은 모의 시험장치에서 평가하였다. FSM platform만의 공진주파수는 1700Hz/1600Hz이며, FSM platform 위에 mirror와 mirror mount를 조립한 경우의 공진주파수는 274Hz/248Hz이다.
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