[논문]CVD system에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구

윤주영; 이지훈; 문두경; 신용현; 정광화

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[국내논문] CVD system에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구 원문보기

한국진공학회 2005년도 제29회 학술발표회 초록집, 2005 Aug. 18, 2005년, pp.174 - 174

윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 이지훈 (건국대학교 신소재공학과) , 문두경 (건국대학교 신소재공학과) , 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)

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