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고정 마스크에 의한 레이저 미세패터닝 쾌속 제작기술 연구
Rapid manufacturing of laser micro-patterning using fixed mask 원문보기

한국레이저가공학회 2005년도 춘계학술발표대회 논문집, 2005 June 10, 2005년, pp.121 - 125  

신보성 (부산대학교 정밀정형연구센터) ,  오재용 ((주)마이크로홀 설계부)

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문제 정의

  • 고정 마스크에 의한 레이저 패터닝 실험은 향후 연구할 유연한 패턴(flexible pattern)을 이용한 레이저 패터닝의 기초 연구로써 여러가지 공정 변수가 가공 상태에 미치는 영향에 대해 알아보고자 하였다.
  • 본 논문에서는 다양한 패턴의 레이저빔을 만들기 위한 시작 단계로서, 고정 마스크를 사용하여 마이크로 크기의 미세 패턴을 제작하였고, 가공 상태를 실험적으로 구명하고자 한다.
  • 본 연구는 고정 형상 마스크를 이용하여 마이크로 패터닝을 가진 레이저로 가공을 하기 위한 기초 연구로서, 가공 특성을 규명하고자 하였다. 우선 시편에 정확한 패턴 가공을 하기 위한 춰적 가공 조건을 찾기 위하여, 패턴의 기하학적 특성에 따른 가공 상태의 변화를 실험적으로 연구하였다.
  • 기초 연구로서, 가공 특성을 규명하고자 하였다. 우선 시편에 정확한 패턴 가공을 하기 위한 춰적 가공 조건을 찾기 위하여, 패턴의 기하학적 특성에 따른 가공 상태의 변화를 실험적으로 연구하였다.
  • 첫째, 본 실험을 통하여 다양한 형태의 고정 마스크를 이용한 마이크로 패턴을 빠른 시간 내에 제작하는 기법에 대한 연구를 하였으며, 실험적으로 이러한 연구의 유용성을 확인하였다.
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