$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

3극형 이온펌프의 진공특성
Vacuum Characteristics of Triode Type Ion Pump 원문보기

한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표논문집, 2005 May 01, 2005년, pp.122 - 124  

김성운 (청운대학교 대학원 전자공학과) ,  한재천 (청운대학교 대학원 전자공학과) ,  김영조 (청운대학교 대학원 전자공학과)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

이극형 이온펌프에서의 내부 전극 구조의 문제점과 고전압에서의 방전특성을 고려하여 삼극형 이온펌프에서 -lkV $\~$ -7kV까지 고전압을 변화시킴에 따라 진공도가 $5.0{\times}10^{-5}Torr {\~} 4.7{\times}10^{-8}Torr$ 까지 형성되었다. 그 결과 시간에 따른 진공도 또한 약 27분 정도 소요됨을 알 수 있으며, 전류값은 -1kV$\~$-2kV에서는 선형적으로 증가하다 -3kV이상부터 지수적으로 증가함을 볼 수 있다. 따라서 삼극형 이온펌프는 이극형 이온펌프 보다 고전압 방전 특성 및 내부 전극 구조의 문제점이 개선되었다.

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 대대분의 초고진공 제품이 선진국에 거의 의존하고 있으며 이온 펌프의 국내 개발 및 상업화도 이와 유사하다. [1] 본 연구에서는 국내 개발된 이극형 이온펌프의 문제점을 개선 하여 이온펌프의 성능을 향상시키고, 불활성기체의 배기에 뛰어난 삼극형 이온펌프와 일반 기체 배기속 도가 뛰어난 이극형 이온펌프의 장점을 결합하여 초 고진공의 삼극형 이온펌프의 진공특성을 평가하고자 한다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로