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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2005년도 춘계학술대회논문집, 2005 May 01, 2005년, pp.555 - 558
Kim, Choong (연세대학교 정보저장기기연구센터) , Lee, Kang-Nyung (연세대학교 정보저장기기연구센터) , Lee, Dong-Ju (연세대학교 정보저장기기연구센터) , Lee, Moon-Gu (삼성전자 메카트로닉스 센터) , Choi, Hyoung-Gil (삼성전자 메카트로닉스 센터) , Lee, Suk-Won (삼성전자 메카트로닉스 센터) , Park, No-Cheol (연세대학교 정보저장기기연구센터) , Park, Young-Pil (연세대학교 기계공학과)
The precision positioning system requires robust design to obtain enough bandwidth. Therefore, The sub-resonance occurred by the disaccord of force center and mass center should be oppressed. And it is necessary to move the flexible mode to a higher frequency. In this paper, the 3-axis nano stage wa...
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