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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집, 2005 Nov. 01, 2005년, pp.231 - 235
이현남 ((주)신성이엔지) , 홍동표 (전북대학교) , 조상준 ((주)신성이엔지) , 문인호 ((주)신성이엔지)
Recently, some semiconductor and LCD manufacturers require equipment suppliers to serve the data of composite noise for clean room. In this study, we evaluate the composite noise of clean room by numerically and experimentally. The value of experimental result is more higher than calculated one as m...
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