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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집, 2006 May 01, 2006년, pp.922 - 929
이영관 (성균관대학교 대학원) , 김훈모 (성균관대학교 기계공학부) , 김윤제 (성균관대학교 기계공학부) , 이석한 (성균관대학교 정보통신공학부)
In this study, flow characteristics of the FPN (Fountain Pen Nano-Lithography) using active membrane pumping are investigated. This FPN has integrated chamber, micro channel, and high capacity reservoir for continuous ink feed. The most important aspect in this probe provided control of fluid inject...
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