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NTIS 바로가기한국소성가공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집, 2005 May 01, 2005년, pp.229 - 232
최종필 (강원대학교 기계메카트로닉스공학과 대학원) , 조기철 (강원대학교 기계메카트로닉스공학과 대학원) , 김헌영 (강원대학교 기계메카트로닉스공학부) , 김병희 (강원대학교 기계메카트로닉스공학부)
This paper presents the design and fabrication of backflow prevented Micropump using the metal membrane. The Micropump is consisted of the lower plate, metal membrane, upper plate and the piezoelectric-element. The lower plate includes the micro channel and the inlet, outlet of the Micropump. The up...
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