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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집, 2004 May 01, 2004년, pp.195 - 201
손성완 (알엠에스테크놀러지(주)) , 김강부 (알엠에스테크놀러지(주)) , 전종균 (선문대학교 기계공학부)
In design stage of high precision manufacture/inspect ion FAB building, it is necessary to investigate the vibration allowable limits of high precision equipment and to study a structure dynamic characteristics of C/R and Sub-structure in order to provide a structure vibration environment to satisfy...
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