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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집, 2004 May 01, 2004년, pp.229 - 233
최헌종 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 강은구 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 이석우 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 홍원표 (한국생산기술연구원 나노가공팀)
The application of focused ion beam (FIB) technology in micro/nano machining has become increasingly popular. Its use in micro/nano machining has advantages over contemporary photolithography or other micro/nano machining technologies such as small feature resolution, the ability to process without ...
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