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광 도파관 용 실리콘 마스터의 제작 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회, 2005 May 01, 2005년, pp.111 - 115  

김정훈 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  서화일 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  정유민 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ,  조유정 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ,  김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ,  김종완

초록
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광 도파관 제작을 위한 마스터를 (100), (110) 실리콘 웨이퍼를 이용하여 제작하였다. DRIE와 화학적 습식 식각을 이용하여 사각형 모양의 부드러운 표면을 가진 마스터를 구현하였다. 식각된 패턴의 거칠기는 광 도파관을 제작할 수 있을 정도로 충분히 작았다. 마스터와 광 도파관의 분리를 용이하게 하기 위하여 마스터에 산화막을 형성하고 PFAS를 도포함으로써 HIBRIMERs 광 도파관을 성공적으로 제작할 수 있었다.

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