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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회, 2005 May 01, 2005년, pp.125 - 128
설진수 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) , 이우영 (한국기술교육대학교 기계정보공학부) , 임경화 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)
The equipments in semi-conductor, display and measurement fields require high precision and resolution positioning technology. High positioning control can be carried out by using linear motors with little vibration, backlash and friction. In this paper, the acceleration patterns of the moving Part ...
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