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문제 정의
- 때문에 분석 시스템의 결핍, 다중 시스템간의 호환성 결여, 비합리적인 Capacity산정, Yield(수율)의 저하 등의 문제를 심각하게 겪고 있는 것이 현실이다. 이를 해결하기 위해 본 연구에서는 불량(Spec-out)의 사전예방, Yield(수율)향상과 Condition Based Maintenance 체제를 구축하기 위하여 현장 엔지니어의 노하우를 데이터베이스화하고 반도체 공정 진행 중 이탈이 발생한 특정 공정의 Lot에 대해 이탈의 원인을 찾는 분석시스템의 구현을 위한 방법을 연구한다.
가설 설정
- Sample Rule을 만들면서 실제의 데이터 값과 실제 엔지니어들의 지식을 가지고 구성하고자 노력하였으나 Rule을 만드는 과정에서 가정이 필요하였다.
- 위에서 첫째 요소는 공정 엔지니어들의 지식을 얻어 Rule에 반영하였다. 그러나 두 번째 요소를 Rule에 반영하는 데는 가정이 필요하였다.
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