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문제 정의
- 본 논문에서는 노광장비 혹은 정밀검사장비 등을 탄성지지하고 있는 방진대가 장비의 자체 가진력에 의한 과도응답의 진동이 발생하는 경우, MR damper를 이용하여 이를 효율적으로 제어하면서 방진효율을 손상하지 않는 반능동 제어시스템을 구성하는 것이 그 목적이다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 반능동 제어형 마운트는 그림2와 같이 air spring과 MR damper가 parallel하게 결합된 구조를가져야 한다.
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