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레이저 변위 센서를 이용한 표면거칠기 측정방법 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회, 2007 June 08, 2007년, pp.144 - 148  

안인석 (한국기술교육대학교 기계공학과 대학원) ,  최성주 (한국기술교육대학교 기계정보공학부) ,  이우영 (한국기술교육대학교 기계정보공학부) ,  김국원 (순천향대학교 기계공학부)

초록
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레이저 변위 센서를 이용한 비접촉식 표면거칠기 측정 방법에 관하여 접촉식과 비교 평가함으로 신뢰성을 확인하였으며, 비교측정하기 위하여 시편을 제작하고 접촉식 방법과 비접촉식 방법으로 측정하고 비교 분석하였다. 분석 결과 접촉식에 비해 비접촉식의 측정에서의 값은 신뢰할 수준으로 판단되었다.

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • 본 연구에서는 접촉식 방법으로 정밀 변위 측정용 레이저 센서를 사용하고 접촉식 방법과 비접촉식 방법을 비교 분석하였다.
  • 비접촉식 측정을 위하여 레이저센서를 셋팅하고 데이터를 받아들이는 DAQ 장치를 컴퓨터와 연결한다. 시편은 정밀 정반 위에 올려 놓고 레이저 센서를 이용하여 정밀하게 표면거칠를 측정하여 데이터를 수집한다.
  • 시편 제작은 정밀 밀링 가공기를 사용하여 절삭속도 3가지 조건과 이송속도 2가지 조건을 조합하여 6가지의 조건에 따른 시편을 제작하였다.

대상 데이터

  • 시편은 정밀 정반 위에 올려 놓고 레이저 센서를 이용하여 정밀하게 표면거칠를 측정하여 데이터를 수집한다.
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