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NTIS 바로가기대한기계학회 2008년도 추계학술대회A, 2008 Nov. 05, 2008년, pp.40 - 44
장은정 (한국기계연구원) , 현승민 (한국기계연구원) , 최대근 (한국기계연구원) , 이학주 (한국기계연구원) , 박영배 (안동대학교)
The interfacial adhesion energy between resist and a substrate is very important due to resist pull-off problems during separation of mold from a substrate in nanoimprint process. And effect of substrate surface roughness on interfacial adhesion energy is very important. In this paper, we have treat...
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