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NTIS 바로가기대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1997 Nov. 29, 1997년, pp.279 - 281
김진성 (서울대 전기공학부) , 김정훈 (서울대 전기공학부) , 김윤택 (서울대 전기공학부) , 주정훈 (군산대 재료공학과) , 황기웅 (서울대 전기공학부)
The properties of Platinum dry etching were investigated in MICP(Magnetized Inductively Coupled Plasma). The problem with Platinum etching is the redeposition of sputtered Platinum on the sidewall. Because of the redeposits on the sidewall, the etching of patterned Platinum structure produce feature...
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