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NTIS 바로가기대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1997 Nov. 29, 1997년, pp.683 - 687
박진석 (한양대학교 공학대학 전기공학과)
The purpose of this work is to develop a highly reliable solar cell based on the diamond-like carbon(DLC)/silicon heterojunction. Thin films of DLC have been deposited by employing both filtered cathodic vacuum arc(FCVA) and magnetron plasma-enhanced chemical vapor deposition(m-PECVD) systems. Struc...
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