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NTIS 바로가기대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1996 Nov. 16, 1996년, pp.206 - 208
정연우 (서울대 전기공학과) , 윤차근 (서울대 전기공학과) , 황기웅 (서울대 전기공학과)
Thin films of magnesium oxide(MgO) were deposited on glass substrates by RF magnetron sputtering method. The characteristics of MgO thin films were analyzed as a function of various deposition conditions such as substrate temperature, substrate self-bias, input power and pressure. As the substrate t...
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