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NTIS 바로가기대한전기학회 1996년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1996 Nov. 16, 1996년, pp.413 - 415
Lee, Yong-Jae (School of Electrical Engineering, Seoul National University) , Chun, Kuk-Jin (School of Electrical Engineering, Seoul National University)
This paper presents a technique for fabricating an electro-optical microlens for microcolumn e-beam system. The device, named Self-Aligned Microlens (SAM) was realized by mixing surface and bulk micromachining technology. The microbridges were formed on both sides of silicon wafer symmetrically. The...
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