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회절격자를 이용한 엔코더 설계
A Study on encoder design using diffraction grating 원문보기

대한전기학회 2004년도 학술대회 논문집 전문대학교육위원, 2004 July 01, 2004년, pp.116 - 119  

홍정표 (부경대학교 기계설계학과) ,  권순재 (부경대학교 기계설계학과) ,  김종달 (동명대학 전기공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, a novel encoder of digital and analog hybrid type is proposed. It is shown that from this experiment a high-resolution angle measurement device can be designed by a low cost incremental encoder....

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이러한 기존의 광학식 엔코더는 최대한 회절격자 수의 4배수에 해당하는 위치정보를 취할 수 있어서 위치정보의 분해능을 높이기 위해서는 슬릿의 수를 많게 하여야 하나 기계공작기술의 제약에 의해 그 한계가 있다. 본 논문에서는 기존의 저가형 광학식엔코더의 전기적 회로 부분의 변형으로 디지털 신호 및 회절격자의 회절량에 대한 아날로그 신호를 기초로 하여 PC BASE로 고정도의 위치를 얻을 수 있는 새로운 방식의 위치검출기법을 제안하였다. 또한 실험을 통하여 그 타당성을 검증하였다.
  • 본 연구는 반도체 제조장치등에 사용되는 고정밀도로 위치 제어기기에서 높은 정확도를 요구하는 변위량 검출을 위해서 기존의 저가형 광학식 엔코더의 전기적회로 부분의 변형으로 디지털 신호 및 회절격자의 회절량에 대한 아날로그 신호를 기초로 하여 고정도의 위치를 얻을 수 있는 새로운 방식의 위치 검출기법을 제안하였다. 제안된 방법에 의해 실험을 행한 결과 엔코더의한 슬릿 내의 위치 변위를 얻을 수 있었다.
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