초록

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반도체 장비간 통신의 표준인 SECS(SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 제조 업체에서 많이 사용되고 있다. SECS-I의 단점을 보완하기 위해 제안된 HSMS (High-speed SECS Message Services)는, TCP/IP를 지원하고 SECS-I에 비해 통신 속도가 높다. 사용자는 HSMS를 이용하여 LAN을 통한 장비 제어 및 모니터링이 가능하게 되었다. 그러나, 네트워크의 확장에 대한 관심 고조로 기존의 제한된 영역의 네트워크 구성에 대한 변화가 필요하게 되었다. 또한 사용자가 항상 LAN의 범위 내에서 장비 모니터링 및 제어하기에는 위치적 제약이 많다. 그렇지만 HSMS는 Web을 통한 데이터 전송 요구를 수용하지 못하고 있다. 따라서 SECS-II message가 Web을 통해 전송될 수 있는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는, 구조화된 데이터를 정의하기 유리한 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II message를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현한다.

반도체 장비간 통신의 표준인 SECS(SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 제조 업체에서 많이 사용되고 있다. SECS-I의 단점을 보완하기 위해 제안된 HSMS (High-speed SECS Message Services)는, TCP/IP를 지원하고 SECS-I에 비해 통신 속도가 높다. 사용자는 HSMS를 이용하여 LAN을 통한 장비 제어 및 모니터링이 가능하게 되었다. 그러나, 네트워크의 확장에 대한 관심 고조로 기존의 제한된 영역의 네트워크 구성에 대한 변화가 필요하게 되었다. 또한 사용자가 항상 LAN의 범위 내에서 장비 모니터링 및 제어하기에는 위치적 제약이 많다. 그렇지만 HSMS는 Web을 통한 데이터 전송 요구를 수용하지 못하고 있다. 따라서 SECS-II message가 Web을 통해 전송될 수 있는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는, 구조화된 데이터를 정의하기 유리한 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II message를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현한다.

AI 본문요약

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• 연구 주제
• 연구 방법
• 연구 결과

문제 정의

• 본 논문에서는 SECS-II 메시지를 XML 데이터로 변환시키는 형식을 제안하였다. 그러나, 모니터링 뿐 아니라 제어의 목적을 위해서는 XML 데이터를 SECS-II 메시지의 형태로의 전환이 필요하다.
• 따라서 SECS-II 메시지가 Web을 통한 전송이 가능할 수 있도록 하는 새로운 포맷이 필요하다. 본 논문에서는 마크업 언어인 XML을 이용하여, SECS-II 메시지를 Web으로 전송할 수 있는 포맷을 정의하고 이를 구현하고자 한다.
• SECS-H 메시지 전송을 위한 데이터 변환에 태그들이 고정되어 있는 HTML보다는 XML이 더 유연하게 적용될 수 있음을 나타내 주고 있다. 본 논문에서는 위와 같은 이유로 XML을 이용하여 Web 데이터를 처리하고자 한다.
• SECS-Ⅱ, HSMS 등은 현재에도 많이 사용되고 있으나' 이 표준들은 PTP 방식 혹은 LAN에서만 적용되는 좁은 범위의 통신만을 지원했다. 이에 본 논문에서는 반도체 장비간 통신 표준인 SECS를 사용하여 SECS-II 메시지를 Web을 통해 전송할 수 있는 데이터 형식을 제안하였다. 메타 마크업 언어인 XML로의 데이터 변환을 통해 Web에서 자유롭게 데이터를 주고받을 수 있도록 함으로써, 사용자 혹은 관리자의 위치적 제약을 줄이고.

제안 방법

• 새로 생성된 XML 데이터 구조는 SECS-II 메시지 전반에. 걸쳐 메시지 형식 이 가변적임을 고려하여 작성함으로써, SECS-II 메시지를 XML데이터로 변환하는데 일반화하였다. 이러한 방법은 XML 데이터를 SECS-II 메시지로 변환하고자 할 때에도 일관되게 변환된다.
• 본 논문에서는 메타 마크업 언어인 XML 데이터로 메시지를 변환한다. 그러기 위해서는 SECSTI 메시지의 특성 및 구조를 데이터화하여 SECS-II 메시지의 구조적 특성에 맞게 XML 태그 생성 및 문법 작성, Schema를 생성한다. 새로 생성된 XML 데이터 구조는 SECS-II 메시지 전반에.
• 이 구조에서는 호스트와 Web Server 사이에서 SECSTI 메시지를 XML 데이터로, 혹은 그 역으로의 변환 과정이 필요하다. 그러므로, 본 논문에서는 장비와 호스트 사이에서 이루어지는 HSMS 통신에 대한 내용은 표준을 사용하므로 특별히 언급하지 않고' HSMS 통신을 사용하여 TCP/IP* 통해 장비 로부터 호스트로 들어오는 SECSTI 메시지를 Web 서버에서 인식할 수 있도록 하는 데이터 변환에 관련된 부분에 중점을 두어 언급할 것이다. 사용자가 Web을 통해 리퀘스트를 Web Server로 전송하게 되면 XML 데이터는 SECS-II 메시지로 변환되어 HSMS통신을 사용하여 장비로 메시지가 전달된다.
• 통해서도 전달받을 수 있도록. 메시지의 구조분석과 전송 형식 및 이에 적합한 XML 데이터의 구성요소, 그리고 데이터 변환 형식에 대해 구체적으로 알아본다.
• 본 논문에서 제안하는 구조는 그림 2와 같이, Web을 통해 SECS-II 메시지가 전송 될 수 있도록 XML 데이터로의 변환에 중점을 두고 있다. 반도체 장비와 호스트 사이의 통신은, TCP/IP 환경 하에서 동작할 수 있는 HSMS 프로토콜을 사용하여 설정된다.
• 본 논문에서는 메타 마크업 언어인 XML 데이터로 메시지를 변환한다. 그러기 위해서는 SECSTI 메시지의 특성 및 구조를 데이터화하여 SECS-II 메시지의 구조적 특성에 맞게 XML 태그 생성 및 문법 작성, Schema를 생성한다.
• 본 논문에서는 장비와 호스트 사이의 데이터 통신은 TCP/IP를 통해 HSMS 표준을 사용하고, Web을 통한 전송을 위해r서는 호스트 위에 Web Sever를 두어 Web Server가 Web을 통해 사용자에게 데이터를 전송하도록 하는 구조를 정의한다. 이 구조에서는 호스트와 Web Server 사이에서 SECSTI 메시지를 XML 데이터로, 혹은 그 역으로의 변환 과정이 필요하다.

성능/효과

• 그럴 경우에 items는 문자열로써 List와 subList의 수만큼 존재한다. 본 논문에서는 앞서 설명한 구조에서 SECS-II 메시지 형식들의 공통적인 부분뿐만 아니라, 다른 부분에 대해서도 정의를 해 줌으로써, SECS-II 메시지는 그림 4의 구조를 통해서 SECS-II 메시지들은 XML 데이터로 변환됨을 나타내고 있다.

후속연구

• 그러나, 모니터링 뿐 아니라 제어의 목적을 위해서는 XML 데이터를 SECS-II 메시지의 형태로의 전환이 필요하다. 차후 이에 대한 데이터 형식을 정의하고 효율적인 데이터 관리에 대한 연구가 필요하다.

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