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NTIS 바로가기대한전기학회 2000년도 추계학술대회 논문집 학회본부 B, 2000 Nov. 25, 2000년, pp.274 - 276
강도현 (한국전기연구소) , 홍정표 (한국전기연구소) , 장기찬 (한국전기연구소) , 전정우 (한국전기연구소) , 전영환 (한국전기연구소)
Recently, the demands of the ultra-precision stage system, such as wafer stepper stages for photolithography, are increasing in the field of manufacturing and test equipment. Since the mechanical elements which convert rotational motion into translational introduce backlash and elasticity in the sys...
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