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NTIS 바로가기대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B, 2007 May 30, 2007년, pp.3162 - 3167
김영길 (성균관대학교 대학원) , 전기수 (성균관대학교 기계공학부&성균나노과학기술원) , 김태성
The OPS (Optical Particle Sensor) using light scattering from the particles (real-time measurement without physical contact to the particles) can be used for cleanroom or atmospheric environment monitoring. For particles smaller than 300 nm, the detection efficiency becomes lower as scattered light ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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광학을 이용하여 입자를 측정하는 방법에는 어떠한 것들이 있는가? | 광학을 이용하여 입자를 측정하는 방법으로는 optical aerodynamics 를 이용하여 입자의 relaxation time 을 측정하거나, 광 소스에 대한 입자의 산란 크기를 이용하는 방법, 입자의 산란과 흡수 비율에 따른 측정법, 빛의 위상을 측정하는 방법 등이 있다(1) . 여러 측정 방법들 중에 입자의 산란 강도에 따른 측정법은 실시간으로 샘플링 없이 측정이 이루어지며, 시스템 구성이 용이하여 측정장비의 크기가 작고 가격이 저렴하다는 장점을 갖는다. | |
광학입자센서란 무엇이며 그 활용은 어떻게 되는가? | 광학입자센서 (Optical Particle Sensor)는 미세입자 측정장비로 초청정 공간의 오염제어, 실내 공기질 관리, 대기오염 측정분야, 환경 감시 분야 등에 적용되어 활용되고 있다. 이처럼 응용분야가 광범위하고, 첨단 분야의 생산성 향상을 위한 오염제어뿐만 아니라 환경에 대한 관심이 높아지면서 광학 입자센서를 적용코자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다. | |
광학입자센서의 성능에 영향을 미치는 인자에는 어떠한 것들이 있는가? | 광학입자센서는 측정 가능한 최소 입자 직경과 측정 효율에 따라 성능이 평가된다. 성능은 사용되는 광 소스 출력, 광 소스 집속과 관련된 렌즈 광학계, 광학 챔버 형상과 유량, 검출기의 민감성 등에 의해 영향을 받는다(2) . 본 연구에서는 광학 챔버 형상과 유량에 초점을 두고 챔버 형상을 모델링하여 유동 특성을 평가하였으며, 그에 따른 측정영역을 구하였다. |
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