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광학입자센서 내 유동장과 측정영역이 측정효율에 미치는 영향
Effect of Flow Field and Detection Volume in the Optical Particle Sensor on the Detection Efficiency 원문보기

대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B, 2007 May 30, 2007년, pp.3162 - 3167  

김영길 (성균관대학교 대학원) ,  전기수 (성균관대학교 기계공학부&성균나노과학기술원) ,  김태성

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The OPS (Optical Particle Sensor) using light scattering from the particles (real-time measurement without physical contact to the particles) can be used for cleanroom or atmospheric environment monitoring. For particles smaller than 300 nm, the detection efficiency becomes lower as scattered light ...

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문제 정의

  • 성능은 사용되는 광 소스 출력, 광 소스 집속과 관련된 렌즈 광학계, 광학 챔버 형상과 유량, 검출기의 민감성 등에 의해 영향을 받는다(2) . 본 연구에서는 광학 챔버 형상과 유량에 초점을 두고 챔버 형상을 모델링하여 유동 특성을 평가하였으며, 그에 따른 측정영역을 구하였다. 이를 통해 광학입자센서 내에서 측정영역과 유동장이 측정효율에 미치는 영향을 규명하였다.
  • 본 연구에서는 광학입자센서 내 유동장과 측정 영역이 측정효율에 미치는 영향을 보기 위하여 HCT 의 시 제작품을 기본 모델로 사용하였으며, 기본 모델을 바탕으로 챔버형상을 변화시켰다.
  • 본 연구에서는 광학입자센서 내에서 유동장과 측정영역이 측정효율에 미치는 영향에 대해서 수치적으로 연구하였다. 해석 결과로부터 측정시간을 구하여 측정효율 미치는 영향에 대해 고찰하였고, 측정영역을 구하여 측정효율을 확인하였다.
  • 본 연구에서는 광학 챔버 형상과 유량에 초점을 두고 챔버 형상을 모델링하여 유동 특성을 평가하였으며, 그에 따른 측정영역을 구하였다. 이를 통해 광학입자센서 내에서 측정영역과 유동장이 측정효율에 미치는 영향을 규명하였다.

가설 설정

  • 3) 측정효율을 높이기 위해서는 입자 빔 크기를 작게하여 입자 빔을 형성시켜야 한다. 하지만 형성되는 입자 빔은 속도가 빨라지기 때문에 photodector 민감도에 따라 측정효율이 감소할 수도 있다는 것을 확인하였다.
  • 출구에서 출구면에 수직한 -y 방향으로 펌프에 의해 일정한 유속의 공기가 유출되며, 입구면에서는 출구 유속에 따라 자연스럽게 형성이 된다. 벽면은 no-slip 이며, 벽면에 부딪힌 입자는 모두 붙는 것으로 가정한다. 모델형상에 관계없이 출구면에서 유출되는 공기유량은 동일한 조건으로 해석을 수행하였다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
광학을 이용하여 입자를 측정하는 방법에는 어떠한 것들이 있는가? 광학을 이용하여 입자를 측정하는 방법으로는 optical aerodynamics 를 이용하여 입자의 relaxation time 을 측정하거나, 광 소스에 대한 입자의 산란 크기를 이용하는 방법, 입자의 산란과 흡수 비율에 따른 측정법, 빛의 위상을 측정하는 방법 등이 있다(1) . 여러 측정 방법들 중에 입자의 산란 강도에 따른 측정법은 실시간으로 샘플링 없이 측정이 이루어지며, 시스템 구성이 용이하여 측정장비의 크기가 작고 가격이 저렴하다는 장점을 갖는다.
광학입자센서란 무엇이며 그 활용은 어떻게 되는가? 광학입자센서 (Optical Particle Sensor)는 미세입자 측정장비로 초청정 공간의 오염제어, 실내 공기질 관리, 대기오염 측정분야, 환경 감시 분야 등에 적용되어 활용되고 있다. 이처럼 응용분야가 광범위하고, 첨단 분야의 생산성 향상을 위한 오염제어뿐만 아니라 환경에 대한 관심이 높아지면서 광학 입자센서를 적용코자 하는 연구가 활발히 진행되고 있다.
광학입자센서의 성능에 영향을 미치는 인자에는 어떠한 것들이 있는가? 광학입자센서는 측정 가능한 최소 입자 직경과 측정 효율에 따라 성능이 평가된다. 성능은 사용되는 광 소스 출력, 광 소스 집속과 관련된 렌즈 광학계, 광학 챔버 형상과 유량, 검출기의 민감성 등에 의해 영향을 받는다(2) . 본 연구에서는 광학 챔버 형상과 유량에 초점을 두고 챔버 형상을 모델링하여 유동 특성을 평가하였으며, 그에 따른 측정영역을 구하였다.
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