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[국내논문] 투명전극을 이용한 display용 김서림 방지장치 개발
Development of transparent anti-fog window device using ITO 원문보기

한국광학회 2008년도 하계학술발표회 논문집, 2008 July 01, 2008년, pp.353 - 354  

김창규 (한국산업기술대학교 나노광공학과) ,  유근호 (한국산업기술대학교 나노광공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

in the environment with high temperature and humidity, surface temperature of the display window should be increased more than the temperature of water-vapor in order to get rid of fog. In this study, we manufacture anti-fog window device which has better transparence and gets high temperature by us...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 2000Å 제작하였고. ITO2000Å+SiO22000Å은 두 개의 층으로 제작하였다. ITO1000Å+SiO21000Å의 소자가 투과율이 가장 좋았으며, 그림 2.
  • 또한 단일층인 소자와 다층인 소자로 나누어 제작하여 직·병렬구조로 인한 저항 변화에 따른 발열량을 비교해 보았다.
  • 반도체 공정을 이용하여 투명전극의 패턴과 그 위에 외부와의 물리적 접촉으로부터 보호하는 보호막의 패턴을 증착하였다. 패턴의 증착은 고품위 산화물 박막제조에 신뢰성과 재현성이 우수한 스퍼터링(sputtering)기법을 채택하였다.
  • In2O3와 SnO2의 혼합물(Indium-Tin-Oxide, ITO)은 가시광 대역에서 투과율이 높으면서 전도성을 지닌 물질 중에서도 열적 안정성이 우수한 것으로 알려진 물질이다. 이러한 ITO의 특성을 이용하여 투명전극의 저항을 증가시킴으로 목표 온도에 도달할 수 있는 디스플레이용 김서림 방지장치(Transparent Anti-fog window device)를 제작하였다.
  • 이에 챔버 내의 환경을 상온, 1200W으로 유지하고 6.9×10-1 torr로 Ar 50 sccm을 유입하여 증착하였다.
  • 3″규격을 기준으로 했으며 이는 현재 휴대용 게임기, 네비게이션, PMP, PDA 등에서 많이 사용되는 크기이다. 형태는 증착두께와 폭의 차이로 인한 저항값의 차이를 두기 위해 무패턴형과 직렬패턴형으로 제작하였다. 또한 단일층인 소자와 다층인 소자로 나누어 제작하여 직·병렬구조로 인한 저항 변화에 따른 발열량을 비교해 보았다.

이론/모형

  • 패턴의 증착은 고품위 산화물 박막제조에 신뢰성과 재현성이 우수한 스퍼터링(sputtering)기법을 채택하였다. 또한 보호막으로 사용되는 SiO2증착에는 일반적으로 사용되는 전자빔 증착법을 사용하였다.
  • 반도체 공정을 이용하여 투명전극의 패턴과 그 위에 외부와의 물리적 접촉으로부터 보호하는 보호막의 패턴을 증착하였다. 패턴의 증착은 고품위 산화물 박막제조에 신뢰성과 재현성이 우수한 스퍼터링(sputtering)기법을 채택하였다. 또한 보호막으로 사용되는 SiO2증착에는 일반적으로 사용되는 전자빔 증착법을 사용하였다.
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