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제안 방법
- 그리고 TiO2는 TiO2 광학박막의 최적화된 산소분압인 5.0 × 10 -5 Torr에서 박막을 제작 하였고 SiO2 는 6.0 × 10 -5 Torr에서 박막을 제작 하였다.
- 박막의 광활성 특성을 측정하기 위해서 1×10 -5 mol/L 농도의 메틸렌 블루용액에 박막을 담근 후, BLB(20W)램프를 사용하여 30분마다 용액의 흡수율을 측정하였다.
- 박막의 조성을 제어하기 위해 Ar 가스를 주입하여 1×10 -2 Torr의 압력에서 10분간 예비 스퍼터링을 실시하였다.
- 본 연구에서는 전자빔 증착법과 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 TiO2/SiO2 박막을 제작하고 TiO2/SiO2 박막의 광학적, 구조적, 광활성 특성을 비교 하였다.
- 제작한 박막은 650 ℃에서 1시간 동안 열처리하여 UV-VIS 분광광도계, AFM, XRD, SEM, XPS을 이용 하여 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. 박막의 광활성 특성을 측정하기 위해서 1×10 -5 mol/L 농도의 메틸렌 블루용액에 박막을 담근 후, BLB(20W)램프를 사용하여 30분마다 용액의 흡수율을 측정하였다.
대상 데이터
- 200W에서 SiO2 를 30분 먼저 증착 한 후에 200W에서 TiO2를 30분 동안 위층으로 증착시켰다. 박막 증착 시 기판은 Quartz glass를 사용하였다.
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