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이중 굽힘 자장 여과 아크 소스의 이온빔 인출 특성 평가 연구
A Study on Extraction Properties of Ion Beam of Double Bending Filtered Vacuum Arc Source 원문보기

한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집, 2009 May 27, 2009년, pp.101 - 101  

김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹) ,  이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹) ,  김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹)

초록
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진공아크소스의 거대입자 제거를 위하여 이중 굽힘형 자장여과 아크 소스를 제작하였다. 소스의 각 전자석의 역할을 조사하고, 발전 안정화 영역에 대한 연구를 수행하였다. 또한 이중 굽힘 자장여과아크소스의 아크방전전압, 주입가스의 위치, 유량 및 플라즈마 덕트의 전압에 따른 인출 이온빔의 공간적 분포 및와 에너지 분포에 대한 연구를 진행하였다. 압력 0.1 mtorr에서 인출 이온빔의 평균에너지는 45$\sim$50 eV를 나타내었으며, 압력이 증가함에 따라 감소하는 경향을 보였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 자장필터의 방식에 따라 거대입자의 제거효율이 효과적으로 증대되지만, 동시에 인출 빔의 효율이 떨어지는 문제가 있다. 본 연구에서는 이러한 거대입자 제거의 효과성과 인출빔의 효율향상을 위하여 동일 평면상에 자장필터 부분을 이중으로 굽혀 더욱 효과적으로 거대입자가 제거할 수 있는 이중굽힘형 필터를 사용한 자장여과아크 소스를 제작하였다. 그리고 제작된 이중굽힘 자장여과아크 소스의 안정화 조건 및 인출 빔의 밀도, 에너지 분포 등을 연구하였다.
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