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NTIS 바로가기대한설비공학회 2009년도 하계학술발표대회 논문집, 2009 June 25, 2009년, pp.1306 - 1311
송근수 (한국생산기술연구원 에어로졸.오염제어 연구실) , 유경훈 (한국생산기술연구원 에어로졸.오염제어 연구실) , 김형태 (한국생산기술연구원 에어로졸.오염제어 연구실)
In recent semiconductor manufacturing clean rooms, in order to improve clean room air quality, air washers are used to remove airborne gaseous contaminants such as
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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외기공조시스템 평가를 위한 실험장치는 무엇들로 구성되는가? | (7)가 제안한 배기 열회수식 에어와셔 외기공조시스템의 개략도를 나타내고 있다. 이 제안된 외기공조시스템들을 평가하기 위하여 본 연구의 외기공조시스템 실험장치는 청정덕트, 고성능 에어필터(HEPA filter), 항온항습기, 에어와셔(Air washer), 엘리미네이터 (Eliminator), 냉각코일(Cooling coil), 재열용 히터(Reheating coil), 전극봉식 증기가습기(Steam humidifier), 송풍기, 세정집진기(Wet scrubber), 중간열교환기(Heat exchanger), 중간열교환기 순환수용 1차 및 2차 펌프, 냉각/가열 겸용코일(C/H coil), 온습도센서 및 계측기로 구성되었다. 열회수식 에어와셔 외기공조시스템 실기실험장치는 Fig. | |
배기 열회수식 에어와셔 외기공조시스템 수치시뮬레이션을 통하여 외기 공조 실험을 한 후 관찰된 사항은? | (1) 배기 열회수식 에어와셔시스템의 에너지 소비에 대해 수치시뮬레이션 수법을 개발하게 되어 연간 에너지 소비량을 분석이 가능하게 되었다. (2) 당진지역에 설치된 5,000 CMH급 외기공조시스템과 수치해석 결과가 비교적 잘 맞지만 열손실을 고려하지 않아 과소하게 나오는 것을 확인할 수 있었다. | |
일반적인 반도체 제조공장의 외기부하의 추세는 어떠한가? | 이러한 상황에서 우리나라의 수출 주력품목인 반도체, 디스플레이 등의 첨단 전자 산업에서는 대규모 클린룸을 보유한 제조공장이 많아서 이러한 클린룸에서 도입하는 외기량이 막대하기 때문에 클린룸 공조와 관계되는 외기부하가 매우 높다.(1) 일반적인 반도체 제조공장의 경우, 외기부하는 냉․열원의 약 27%이고 전체 공조부하의 약 45%에 이르며 반도체 집적기술의 고도화에 동반해서 그 절대량은 증가하는 추세에 있다. 따라서 에너지절감을 통한 온실가스 감축을 위해 외기부하와 관계되는 공조에너지의 사용효율 증대 및 철저한 사용합리화가 요구되고 있다. |
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