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제안 방법
- 8 nm He-Ne laser를 광원으로 사용하여 Raman 스펙트럼을 측정 및 분석하였다. 550℃ 열처리 후 샘플의 UV-VIS-NIR 광흡수스펙트럼(Verian, Cary 5000)을 측정하였으며 TEM 분석을 통하여 Ag나노입자의 모양 및 크기를 확인하였다. 또한 표면분석기(Tencor, Alpha Step-600)를 사용하여 코팅된 박막의 두께를 측정하였다.
- Ag이온의 첨가상태를 확인하기 위하여 150℃에서 건조된 유리박막을 비편광 632.8 nm He-Ne laser를 광원으로 사용하여 Raman 스펙트럼을 측정 및 분석하였다. 550℃ 열처리 후 샘플의 UV-VIS-NIR 광흡수스펙트럼(Verian, Cary 5000)을 측정하였으며 TEM 분석을 통하여 Ag나노입자의 모양 및 크기를 확인하였다.
- TEOS 및 AgNO3를 원료로 졸겔공정을 이용하여 Ag나노입자가 형성된 석영유리계 유리박막을 제조하였다. Dip-coating 시 인상속도에 따른 박막의 두께변화와 광흡수변화를 관찰하였고, 제조된 박막의 TEM 분석 결과 2 ~ 5nm 크기의 Ag나노입자가 유리박막에 형성된 것을 확인하였다.
- 550℃ 열처리 후 샘플의 UV-VIS-NIR 광흡수스펙트럼(Verian, Cary 5000)을 측정하였으며 TEM 분석을 통하여 Ag나노입자의 모양 및 크기를 확인하였다. 또한 표면분석기(Tencor, Alpha Step-600)를 사용하여 코팅된 박막의 두께를 측정하였다.
- 금속나노입자가 함유된 유리박막 제조법으로는 spin coating 법, spray 법 및 dip coating 법 등이 있으며, 유리 제조에 사용되는 졸겔(sol-gel) 전구체로 TEOS(tetraethyl orthosilicate)가 가장 널리 사용되고 있다. 본 연구에서는 TEOS 기반의 졸겔법을 이용하여 Ag이온이 함유된 실리카계 용액을 제조하여 석영유리 기판 위에 dip coating한 후, 열처리를 통하여 Ag나노입자가 형성된 석영유리 박막을 형성하였고 이의 광학특성을 연구하였다.
- 건조된 샘플은 전기로에 넣고 550℃ 에서 120min 동안 열처리하여 유리화 및 Ag나노입자가 형성되도록 하였다. 비교를 위하여 Ag가 첨가되지 않은 유리박막을 동일한 방법으로 만들고 특성을 비교하였다.
- 2 이었고, 이 졸겔용액을 상온(~25 ℃)에서 48시간 동안 보관 후 다시 80℃에서 30분간 숙성(aging)시켰다. 인상속도에 따른 박막 두께변화를 관찰하기 위하여 두께 1mm의 석영유리 기판을 1.59 ~ 12.25 cm/min 범위에서 dip-coating 하였다. 코팅된 유리박막을 drying oven 을 사용하여 60, 150 ℃ 에서 각각 30 min 동안 건조시켰다.
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