최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국소성가공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집, 2007 May 10, 2007년, pp.379 - 382
이혜진 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 이형욱 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 박진호 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 이낙규 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀)
The MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process is used in a micro/nano pattern manufacturing method. This method is based on the lithography technology. But the MEMS process has some problems such as complicated process, long processing time and high production costs. Many researchers are doing...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.