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Micro Blade용 Bond 재료에 있어 윤활첨가에 따른 마모시험특성
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한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집, 2008 Nov. 19, 2008년, pp.111 - 113  

김송희 (강원대학교, 신소재공학과) ,  문종철 (강원대학교, 신소재공학과)

초록
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반도체 산업에 있어 package 절단에 사용되는 diamond micro blade의 성능은 그 반도체의 자체적 성능에서뿐만 아니라 생산 비용 등에 있어서도 매우 중요한 비중을 차지하고 있다. 이러한 블레이드의 성능향상을 위해 윤활첨가제(흑연, $MoS_2$)의 첨가효과에 대해 마모성능시험을 통해 알아보고 비교 분석을 행하였다. 그 결과 윤활첨가제의 첨가를 통해 절삭 중 블레이드 표면에서 발생할 수 있는 응착 마멸현상이 줄어들었음을 확인할 수 있었고, 윤활첨가제의 적절한 첨가량에 대해 재조명 해 볼 수 있었다.

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문제 정의

  • 이번 연구에서는 다이아몬드 마이크로 블레이드에 사용되는 결합재와 그 결합재에 적절한 물성 부여를 위해 첨가되는 윤활첨가제 중 흑연과 MoS2에 중점을 두고, 마모성능시험을 통하여 윤활첨가제가피 절삭제의 접촉면에서 블레이드용 결합재의 마찰계수와 마모속도에 미치는 영향에 대해 조사하였다.
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