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ITO / $CeO_2$ / PI 박막의 기계적, 전기적 및 광학적 특성
Mechanical, Electrical and Optical Properties of ITO/ $CeO_2$ films Deposited on PI Substrate 원문보기

한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집, 2009 Oct. 14, 2009년, pp.193 - 194  

강용민 (부산대학교 재료공학과) ,  권세희 (부산대학교 재료공학과) ,  송풍근 (부산대학교 재료공학과)

초록
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마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 투명 Polyimide 기판과 ITO 박막 사이에 다양한 두께의 $CeO_2$ 버퍼층을 증착 후 기계적, 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. $CeO_2$ 버퍼층의 두께가 증가함에 따라서 degassing 현상의 감소로 인해 전기적 특성의 개선 및 부착력의 증가를 확인할 수 있었으며, 5nm 두께의 $CeO_2$ 버퍼층이 삽입된 ITO/$CeO_2$ 박막에서 가장 우수한 기계적 특성을 확인할 수 있었다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 또한 sputtering 공정시 기판에서 발생하는 degassing 현상은 ITO 박막의 전기적 특성 및 부착력의 저하를 가져온다. 따라서 본 연구에서는 고온에서 안정한 PI (polyimide) 기판과 ITO 박막 사이에 CeO2 버퍼층 도입을 통한 기계적, 전기적, 광학적 특성을 연구하였다.
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