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NTIS 바로가기한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집, 2008 Aug. 20, 2008년, pp.343 - 343
박태진 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀) , 채승기 (삼성전자(주) 메모리 사업부 생산기술 2팀) , 김성협 (삼성전자(주) 기술총괄 기구인프라 그룹)
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