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제안 방법
- 먼저 O2 plasma 처리를 통한 표면돌기 형성단계로서 증류수를 통과하여 수분을 포함한 O2 gas를 챔버에 주입하고 동시에 배기하여 챔버 내 압력을 100 mTorr로 유지시키며 570V, 7min 동안 표면 처리하였다. CHF3 gas를 이용한 표면 불소화 처리단계로 CHF3 gas를 주입하면서 동시에 배기하여 챔버 내 압력을 320 mTorr로 유지시키며 470V, 10min 동안 플라즈마 처리하였다.
- O2 plasma처리를 통한 표면 돌기형성단계와 CHF3 gas를 이용한 표면 불소화처리단계 두 단계의 플라즈마 처리 공정을 거쳐서 10×10cm 크기의 PET film 표면을 초발수 처리하였다.
- O2 plasma처리를 통한 표면 돌기형성단계와 CHF3 gas를 이용한 표면 불소화처리단계 두 단계의 플라즈마 처리 공정을 거쳐서 10×10cm 크기의 PET film 표면을 초발수 처리하였다. 먼저 O2 plasma 처리를 통한 표면돌기 형성단계로서 증류수를 통과하여 수분을 포함한 O2 gas를 챔버에 주입하고 동시에 배기하여 챔버 내 압력을 100 mTorr로 유지시키며 570V, 7min 동안 표면 처리하였다. CHF3 gas를 이용한 표면 불소화 처리단계로 CHF3 gas를 주입하면서 동시에 배기하여 챔버 내 압력을 320 mTorr로 유지시키며 470V, 10min 동안 플라즈마 처리하였다.
- p>초발수성 표면은 자기세정능력을 가지고 있어서 여러 분야에 응용이 가능하여 많은 연구가 진행되고 있다. 자연계의 대표적인 초발수 표면을 가지는 연꽃잎을 모사하여 표면에 초발수 특성을 가지는 PET(polyethylene terephthalate) film 표면을 제작하였다.
- plasma처리를 통한 표면 돌기형성단계에서 거칠기가 증가하는 것을 AFM 측정 결과 알 수 있었고 10º 이하의 접촉각을 가졌다. 표면 불소화 처리단계를 거쳐 150º 이상의 접촉각을 가지는 초발수 특성 표면을 제작하였다. 약 5°정도의 기울기에서도 물방울이 잘 미끄러지는 것을 확인 할 수 있었다.
대상 데이터
- O2 gas와 CHF3 gas를 사용하고 직접 방전식 전극장치와 40 kHz AC power를 이용한 저진공 플라즈마 장치를 사용하였다. O2 plasma처리를 통한 표면 돌기형성단계와 CHF3 gas를 이용한 표면 불소화처리단계 두 단계의 플라즈마 처리 공정을 거쳐서 10×10cm 크기의 PET film 표면을 초발수 처리하였다.
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