[논문]R.F. 스퍼터링을 이용한 <tex> $Cu_xN$</tex> 박막의 증착 및 펜타센 반도체 소자에서의 소스/드레인 전극 특성 분석

윤동진; 임상훈; 이시우

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[국내논문] R.F. 스퍼터링을 이용한 $Cu_xN$ 박막의 증착 및 펜타센 반도체 소자에서의 소스/드레인 전극 특성 분석 원문보기

한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집, 2008 Aug. 20, 2008년, pp.81 - 81

윤동진 (POSTECH) , 임상훈 (POSTECH) , 이시우 (POSTECH)

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