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NTIS 바로가기한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집, 2009 Feb. 11, 2009년, pp.260.1 - 260.1
최범호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) , 김영미 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) , 유하나 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) , 김광영 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 나노기술집적센터) , 이종호 (한국생산기술연구원 호남권기술지원본부, 광응용부품지원센터) , 김종운 (선익시스템(주)) , 이재승 (선익시스템(주)) , 박영호 (선익시스템(주))
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